900–1650nm
光谱范围
0.196nm
静态重复性（指标 ≤ 1 nm）
0.4nm
判停 PV（指标 ≤ 1 nm）
3炉
连续验证
实机
机架式光控主机，前面板实时显示光学厚度与波长读数。
METAFILM / MTR 光控主机
透射太弱，
读反射光。
DLC 膜薄且吸收，透射信号弱。反射式原位监控 900–1650 nm，避开发射与接收互相遮挡，光打在转盘监控片那一圈。
斜反射 / 垂直反射
两种光路布置
3 rpm
转盘每圈采一次
S 波能量 + MSE
两判据同时达标
双色散模型
+ 多起点拟合
柯西 / Tauc-Lorentz 双色散模型，反演出的 n 可间接表征 SP³/SP² 比例。
- LM + 切片多起点，把代价函数里约每 270 nm 一个的假极小逐个排除
- 单起点 MSE 最大 252 → 10 起点最大 18.7
- 不只是测厚：全过程光学大数据留存，用于品质把控与可追溯
现场验收
| 项目 | 指标要求 | 现场实测 |
|---|---|---|
| 静态重复性（STDEV） | ≤ 1 nm | 0.196 nm |
| 判停 PV | ≤ 1 nm | 0.4 nm |
| 连续炉次验证 | — | 连续 3 炉 |
| 拟合多起点 | — | 单起点 MSE 最大 252 → 10 起点最大 18.7 |
数据取自现场验收报告。结果对应特定膜系与设备条件，实际表现随工艺而异。
DLC 光控系统 · 宣传动画
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METAFILM 公司介绍 · 1920×1080 · 66 秒