10–3000nm
薄膜模式量程（AX）
0.2–50µm
厚膜模式量程（n=1.5）
0.5s
检测节拍
0.1865nm
30 次静态重复性（σ）
实机
主机内置光源与光谱接收模块，前面板两个 SMA905 光纤口经光纤连接探头与基座。
主机 · 传感器探头 · 基座 ｜ 非接触白光反射光谱测厚
测厚原理
准单色光照射多层薄膜，界面多次反射形成相干光束；提取干涉信号后，用传输矩阵法正演、最小二乘拟合反演，得到厚度、折射率与消光系数。
- 厚膜模式：靠干涉条纹周期反演，条纹越密膜越厚
- 薄膜模式：靠光谱整体形貌反演
- 两模式共用同一套膜系模型与 nk 色散数据库
出货口径
AX 主力型号。
薄膜模式量程
10–3000 nm
厚膜模式量程
0.2–50 µm（n=1.5）
实际使用 / 可探测波段
450–900 nm / 365–1013 nm
检测节拍
0.5 s
探头
专用镜头 · 非接触
工作距离 / 光斑直径
40 mm / 0.3 mm
静态重复性（30 次 σ）
薄膜 ±0.5 nm 厚膜 ±0.015 µm
监控片
单面磨砂玻璃 / 单抛硅片
光源
卤素灯 5000 h（AX）
接口
USB TypeB – TypeA · 12 V / 3 A
软件环境
.NET Framework 4.7.2 · Windows 10
升级路径
可加装 XY mapping；加装相机 + 同轴镜头即成纤维膜厚仪（2–40 倍率）
本页为 AX 主力出货型号口径；系列其他型号（AL / BL / BX / BLIR）量程与波段不同，以对应规格书为准。
对标准物质的重复性
| 项目 | 条件 | 结果 |
|---|---|---|
| 30 次静态重复性 | 同一测点连续 30 次 | σ = 0.1865 nm |
| 有证标准物质 | GBW13974（中国计量科学研究院）标称 118.9 nm | 测得 118.89 nm，偏差 −0.01 nm |
| 检测节拍 | 薄膜模式 | 0.5 s / 次 |
数据取自产品规格书与现场验收报告。数值为特定条件下的实测结果，实际表现随膜系、基材与环境而异。
桌面式膜厚仪 · 宣传动画
2D 矢量动画，可在浏览器直接播放；也可全屏打开。
METAFILM 公司介绍 · 1920×1080 · 66 秒