METAFILM® 桌面式膜厚仪
PARYLENE THICKNESS METROLOGY / OCDER
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OCDER / METAFILM® PARYLENE THICKNESS METROLOGY REV 2026-05 · DOC-04 www.ocder.com METAFILM 桌面式膜厚仪 PARYLENE / POLYMER THIN-FILM METROLOGY 五个型号 · 覆盖 10 nm – 300 µm AL AX BL BX BLIR 鄂州光控科技有限公司 www.ocder.com OCDER · OPTICAL COATING METROLOGY 整机组成 SYSTEM COMPOSITION / 4 MODULES METAFILM 型号 AX 反射率 / 波长 测量软件实时曲线 WD 40 mm 专用镜头 · 非接触 01 显示器 1 件 · 曲线与结果同屏 02 主机 1 台 · 光源与接收集成于内 03 传感器 1 套 · 专用镜头 04 基座 1 件 · 阵列孔定位 结构：主机 + 显示器 + 传感器 + 基座；前面板 2 个 SMA905 光纤口（光源端 / 接收端） 前面板约 211 × 101 mm · USB TypeB（机端）– TypeA（PC 端）· 12 V / 3 A 专用镜头非接触 · 工作距离 40 mm · 光斑直径 0.3 mm · 两模式共用同一套 nk 库 测量原理 WHITE-LIGHT REFLECTANCE SPECTROSCOPY 专用镜头 / WD 40mm 白光 450–900 nm 可探测 365–1013 nm 反射光携带膜厚信息 膜厚 d Parylene 膜层 n=1.46 硅基底（单抛硅片） 监控片亦可为单面磨砂玻璃 采集光谱：365 – 1013 nm，2048 点 600 nm 反射率 / 波长 测量值 vs 拟合值 实际数据 拟合数据 波长 / nm　（纵轴 R 0.00 – 0.50） ① 采集 专用镜头垂直入射 光谱仪记 2048 点光谱 ② 建模 空气 / Parylene / 基底 传输矩阵法算理论值 ③ 拟合 以厚度、折射率为变量 最小二乘比对干涉条纹 ④ 输出 厚度值 + 误差 + 置信区间 节拍 0.5 s 厚膜模式靠干涉条纹周期反演（条纹越密膜越厚）· 薄膜模式靠光谱整体形貌反演 · 两者共用同一套膜系模型与 nk 色散库 注：图中 2.97 µm / n=1.46 取自本项目软件实测截图，用作示意；具体型号量程见下一幕指标矩阵。 反演与读数 INVERSION PIPELINE & RESULT ① 采集光谱 ② 建膜系模型 ③ 最小二乘拟合 ④ 输出厚度/分布 厚度分布曲线 纵轴 强度 / a.u. 横轴 厚度 / µm 峰位 2.97 µm 测量结果 ● 状态 OK 0.00 µm 总厚度 · 厚膜模式 · 实测截图 n=1.46，d1/d2 = 3.65 / 3.99 µm 折射率 N 1.46 厚度精度 0.1 µm 积分时间 90 ms 拟合 MSE < 5　判定通过 可溯源实测验证 · 有证标准物质 GBW13974　SiO₂ 纳米薄膜　118.9 nm ± 1.6 nm（k=2） 30 次静态：均值 118.89 nm　σ = 0.1865 nm　偏差 −0.01 nm 测试日期 2024-09-05 · 25 ℃ 63%RH · 中国计量科学研究院 有证标准物质 静态重复性（连续 30 次标准偏差） ±0.015 µm 厚膜模式 ±0.5 nm 薄膜模式 检测节拍 0.5 s / 次 型号矩阵 FIVE VARIANTS / 10 nm – 300 µm 型号厚膜模式薄膜模式 实际使用波段静态重复性 节拍原位测量光源寿命 AL 0.2 – 50 µmn = 1 10 – 3000 nm 420 – 650 nm 厚膜 ±0.015 µm薄膜 ±0.5 nm 0.5 s 是 >50000 h AX 0.2 – 50 µmn = 1.5 10 – 3000 nm 450 – 900 nm 厚膜 ±0.015 µm薄膜 ±0.5 nm 0.5 s 是 5000 h BL 0.5 – 90 µmn = 1.5 50 – 3000 nm 450 – 650 nm 厚膜 ±0.015 µm薄膜 ±0.5 nm 0.5 s 否 >50000 hLED BX 5 – 150 µmn = 1.5 50 – 5000 nm推荐 1000 – 5000 nm 750 – 900 nm 厚膜 ±0.015 µm薄膜 ±2 nm 1 s 否 >5000 h卤素 BLIR 20 – 300 µmn = 1.5 —（无薄膜模式） 810 – 870 nm 厚膜 ±0.05 µm薄膜 — 1 s 否 >100000 h激光 全系共同项 探头形式　专用镜头（非接触） 工作距离　40 mm 光斑直径　0.3 mm（BLIR 0.03 mm） 监控片　　单面磨砂玻璃 / 单抛硅片 可探测波段　365 – 1013 nm 升级能力　　全系可升级 XY mapping 质保　　　　1 年 验收依据　　技术协议 + 试运转 3×24 h 交付文件　　手册 / 合格证 / 装箱单 / 图纸 主机前面板 211 × 101 mm · SMA905 光纤 · 光源与接收集成于主机 · USB 加密狗授权 选型建议 · 需 0.2–50 µm 量程且兼容镀膜机原位测量 → AX。 · 只看薄膜（≤3000 nm）→ AL / BL；需长寿命 LED 且不需原位 → BL。 · 更厚涂层（5–150 µm）→ BX；300 µm 级超厚 → BLIR（激光）。 · 需微区测量（光斑 0.03 mm）→ BLIR；BX 可外加光源升级为 BLIR。 · 需微区成像或在线监控 → 加装相机 / 原位方案，按现场工况配置。 应用场景 APPLICATIONS / SCENARIOS Parylene 涂层 聚对二甲苯气相沉积膜厚 主战场 · n = 1.46 – 1.6 硅橡胶镀膜 弹性体表面镀层厚度 技术协议验收 SiC 切割测有无 切割道残留膜层判定 据客户订单用途 光学薄膜 / 半导体 SiO₂ / Si₃N₄ / DLC 等膜系 与在线系列共用算法 全系覆盖量程 10 nm – 300 µm 薄膜模式 + 厚膜模式，一台覆盖 规格型号 05 个 / 条产品线 AL · AX · BL · BX · BLIR 合作形态 02 种 自有品牌 · 出口报关 节拍 0.5s 交付与验收 交付文件 手册 / 合格证 / 装箱单 / 图纸 验收依据 技术协议 + 试运转 3 × 24 h 质保 1 年 升级能力 全系可升级 XY mapping PARYLENE DESKTOP THICKNESS METER 桌面式膜厚仪 10 nm – 300 µm · 节拍 0.5 s · 静态重复性　厚膜 ±0.015 µm · 薄膜 ±0.5 nm 以技术驱动品质，以数据见证厚度 鄂州光控科技有限公司　·　METAFILM® www.ocder.com　·　胡九龙　15013609072　·　364989949@qq.com