OCD5000 光控系统 DLC 光控系统

550 nm
38060090012001700 nm
编码器 主轴 KF25 电极 ×2 伞架 · 公转基片架 监控片 ● 采集 挡板 ×2 灯泡模块 修正板 蒸发源 蒸发源 真空镀膜室 · 蒸镀直接光控 METAFILM 自动接收模块 · 139×136×152mm 接收镜头可自动调整 · 光斑监测 OCD5000 光控系统主模块 · 大理石基座 C-T 单色仪 入射光纤 光纤耦合透镜 消高级次滤光片轮 入射狭缝(自动 0–2mm) 缝宽 1.00mm 凹面反射镜 M2 反射光栅 G 凹面聚焦镜 M3 翻转镜 出射狭缝 · Si 出射狭缝 · InGaAs Si 出口 · Si 380–1100nm InGaAs 出口 · InGaAs 900–1650nm 光栅 1200/600/600LP | f=280mm | 光谱范围 380–1700nm 380700110015001700 nm 监控波长 — 探测器信号 → 上位机 闭环反馈 · 停镀信号 / 切层 / 挡板 上位机 · 光控软件 实时透射率曲线 | 极值判停 | 4 类中断续镀流程 透射率 T 镀膜时间 t 极值 → 停镀 实时读数 监控波长— 实透过率— 当前层数0 / 18 停镀信号0 心跳0 镀膜机自动化 · Modbus RTU 闭环 RS232 | 115200 · 8 · 偶 · 1 | 从站 01 | 功能码 03 / 06 / 10 地址 名称 读/写 0 镀膜总层数 读 3 光控当前监控层数 读 4 关键命令完成标识 读 6 停镀信号 读 7 当前层准备好 读 100 切换镀膜层 写 101 镀膜挡板开关 写 102 同步膜系 / 105 续镀 写 RS232 报文(节选) 01 06 00 64 00 01 09 D5切层 01 06 00 65 00 01 58 15开挡板 01 06 00 66 00 01 A8 15同步膜系 01 03 00 06 00 01 64 0B读停镀 01 06 00 69 00 01 98 16续镀 心跳:每 0.5s +1,连续 3s 不变即判断光控断开 ① 真空室内原位光控 ② 光纤耦合 · 单色仪分光 ③ 双出口探测器自动切换 ④ 透射率极值判停 ⑤ Modbus RTU 闭环联动
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插画与动画逻辑来源:OCD5000 与 DLC 的图元、渐变、样式、渲染引擎(含转盘公转、监控片采样、光子沿光路运行、滤光片轮、狭缝联动、翻转镜切换、透射率曲线)均从对应 *_宣传动画.html 整段移植,按容器加前缀隔离后重新排版。
口径:OCD5000 380–1700 nm、双出口 Si + InGaAs 自动切换;DLC 900–1650 nm。本页不涉及价格、客户名与标定周期。