380–1700nm
光谱范围
1–5.4nm
光学分辨率
±0.05%
噪声（连续 100 点标准差）
8档
自动增益
实机
光控主机内置光源与光谱接收模块，配套软件实时显示反射率与厚度读数。
光控主机 · 直流电源 · 测量软件
从采谱到停镀，五步闭环
01
原位采谱
随转盘每圈采集一次
02
反演膜厚
柯西色散 + LM 拟合
03
识别极值
透射率（干涉）极值法
04
输出停镀
关闭挡板
05
自动切层
续镀下一层
核心指标
光谱范围
380–1700 nm
探测器出口
Si + InGaAs 自动切换（双出口）
单色仪
Czerny-Turner 焦距 280 mm 大理石基座
光学分辨率
1–5.4 nm
自动狭缝
0–2 mm
噪声
±0.05 %（连续 100 点标准差）
增益
8 档自动增益，从弱信号到强信号逐档跟随
判停方式
透射率（干涉）极值法
通信
Modbus RTU · 115200 · 偶校验 · 从站 01 · 功能码 03
单色仪光路：准直镜 → 滤光片轮 → 凹面反射镜准直 → 反射光栅 → 凹面聚焦镜 → 出射狭缝（Si 与 InGaAs 前各有一个出射狭缝）。
OCD5000 光控系统 · 宣传动画
2D 矢量动画，可在浏览器直接播放；也可全屏打开。
METAFILM 公司介绍 · 1920×1080 · 66 秒